刻蚀机市场混战国产刻刀将刻下浓墨重彩的一笔

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刻蚀机市场混战国产刻刀将刻下浓墨重彩的一笔

半导体产品从设计到制造,大致可以分为顶层设计、晶圆制造、封装测试三大步骤。 

顶层设计完成后,需要晶圆加工厂根据设计图纸对晶圆进行加工,这一过程称为晶圆制造。晶圆制造包含前后两道工艺,前道工艺主要包括:扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光和金属化;后道工艺主要是互联、打线、密封等封装工艺。 

100余位高净值客户,1个月出资8亿,建信信托:募资难对我们来说是伪命题

一切要从千方科技的私有化开始说起。12年前,2008年7月,千方科技登陆美国纳斯达克资本市场,成为交通信息化领域的首家中国概念股。随后,2012年,当时市值超1.6亿美金的千方科技准备从美股私有化,并谋求在国内上市。建信信托就是从这时起与之接触。

2017年,建信信托开始全面市场化募资,国企改革、科技创新、产业龙头等系列基金相继成立。其中,科创基金1号产品在一个月时间内全部募集完成,“百余位高净值客户,合计出资8个亿。”建信信托并购重组事业部总经理陈铨告诉投资界(微信ID:pedaily2012)。

最终,合肥市国资委应“帖”而来。2009年,建设银行增资15亿,成为合肥兴泰信托的绝对控股股东(持股67%)。2010年1月,建信信托正式挂牌成立。

“2019年4月发起,月底基本就募完了。”说起这只科创基金,陈铨满是自豪——这只基金规模超过8亿人民币,由建信信托以自有资金出资10%,其余90%全部来自建设银行的高净值客户,“百余名投资人,募了8个亿。高净值人群有很强烈的股权投资,特别是对科技创新领域的投资需求,但是大多数缺乏可信赖的投资渠道。于是,建信信托的这只产品成为了建设银行服务高净值客户的一个重要抓手。”

设备制造难度没有达到高不可攀的程度,这也让刻蚀机的全球竞争更加多元化,没有出现像光刻机市场一样,只有一家寡头垄断的局面。 

由于前期投资力度很大,建信信托在千方科技的占比一度超过10%,成为最大的外部股东。“2018年到2019年,我们觉得差不多到了退出期,也是为了引入阿里巴巴做为战略投资人,就卖了一部分股票给阿里云。”陈铨回忆。如今阿里巴巴是千方科技第二大股东,建信信托持股近3%。

由于在晶圆的表面上,电路设计图案直接由光刻技术决定,因此光刻工艺也是芯片制造中最核心的环节。

截至12日,台湾共409人居家隔离及1.8万人居家检疫,前者由卫生机关每天致电追踪两次,后者由里长或里干事每天不定期电话追踪一至两次,为确保检疫隔离者两周不得任意外出,已于1月29日采用定位手机电子监测。目前已对9名违规外出的居家检疫者进行处罚,共罚款62万元新台币,6人被强制安置,还有7名违规者等待被开罚单。

拉姆研究1980年成立,是向世界半导体产业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商之一,是目前全球第三大半导体生产商。拉姆研究1989年便在韩国开设了第一间办公室,1990年在中国设立办事机构,根据拉姆研究2018年年报披露,中日韩三地营收占其营收总比例的80%。 

这一系列晶圆制造过程中所用设备,可分为光刻机、刻蚀机、薄膜沉设备、CMP设备、检测设备等。 

综合中央社、《联合报》《中国时报》等台媒报道,“主计总处”表示,评审会以SARS(非典肺炎)影响3个月为参考,下修民间消费、出口以及民间投资等,预测全年GDP受疫情冲击0.35至0.5个百分点。但如今电商、外送平台发展成熟,宅经济发展可以让商品透过更多元管道销售,冲击不会像SARS那么大,目前股市、金融面仍稳定,加上与大陆竞争厂商有转单效益,今年各季GDP、民间消费都不至出现负成长。

其中,光刻机名声大噪,而刻蚀机却显得有些籍籍无名。 

应用材料是全球最大的半导体设备厂商。应用材料成立于1967年的美国,是全球最大的半导体设备公司,产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、RTP等除光刻机外的几乎所有半导体设备。在全球晶圆处理设备供应商中排名第一。 

“下重注、陪伴成长、良性退出,这就是我们的一个投资理念。”陈铨说,建信信托从PE投资,到重大资产重组、控股型收购,始终与这家公司紧密联系,“比如我们现在还在一同谋划,是不是可以在无人驾驶领域做一些重大战略的收购和注入。

受疫情影响,台湾多项公共活动延期或取消。12日,台湾大考中心表示,基于防疫需求,将指考日期延后至7月3日至5日;台北市政府召开疫情应变小组会议,决议3月底将登场的智慧城市论坛延后到7月举办;台湾雄狮旅游独包的赏樱邮轮“世界梦号”“威尼斯号”确定取消,今年“邮轮赏樱”项目将暂别市场。

最明显的就是募资的头部化。今年以来,头部机构频繁募得大额资金,与之相对,不少曾经的私募股权基金都已经销声匿迹。对此,陈铨表示,每一个螺旋上升的行业,在波峰之后一定会慢慢进入波谷,几个周期下来,中国创投行业正在渐渐回归理性——“可能最开始大家都没有业绩,靠讲故事是有用的,但是现在大家更需要靠沉淀下来的历史业绩来说话。”

北方华创是由七星电子和北方微电子战略重组而成,是目前国内集成电路高端工艺装备的 龙头企业。据其2018年报披露,北方华创90-28nm集成电路工艺设备实现了产业化,14nm集成电路工艺设备进入了工艺验证阶段。 

国内“刻刀”已锋利,但突破仍需潜心钻研 

千方科技,智慧交通的一家领军企业,建信信托已陪伴其8年之久。

建信信托有3条主要的投资逻辑:连续性投资、生态型投资和先进性投资。过去几年间,建信信托发起设立了数十只基金,投资了近百个项目,并不断与华为、小米、宁德时代等产业巨头合作为中国的先进技术发展助力。

作为建设银行的控股子公司,从成立之初,建信信托就不断摸索进军VC/PE圈的可能性。如今,开展私募股权投资业务已有8年,这家有着银行背景的PE目前总管理规模近1000亿,其中70%资金来自建设银行的高净值和超高净值客户。

如今,行业里优质项目一定是供不应求,好项目不愁钱,企业估值也开始两极分化。“在投资行业,最核心的能力是什么?我认为是定价能力。不管在一级市场还是二级市场,最后比的都是估值和定价能力。”陈铨进一步解释,投资建议书里非常重要的一部分就是估值模型,定价取决于一些客观的因素,比如财务状况、市场情况等等,但也有很多主观因素,判断它是线性增长、指数增长、平稳增长还是向下走。

陈铨介绍,建信信托未来还会作为千方科技的长期战略投资人,因为这家公司符合建信信托的3条重要投资逻辑:第一,产业链的连续性投资,国产替代,要保证国家重点产业链“不掉链子”;第二,生态型投资,要投资整个生态,例如他们曾投资一家游戏引擎,也会同时投资上下游的工具箱型企业、芯片设计企业等;第三,先进性投资,例如他们曾投资芬兰一家做AR镜片芯片的公司,“全世界就4家公司可以做这个,1、2、4名是美国的,芬兰这家我们投了。”

2012年10月,千方科技成功从美国退市,隔年,建信信托出资一亿,第一次投资了千方。陈铨向投资界梳理:“从2013年第一笔投资开始,我们中间投了三次,也退出了三次,现在也没有完全退出。这是建信信托首批实现从募投管退全流程投资的项目之一。”

自半导体产业在美国诞生以来,全球半导体产业总共发生过三次大规模转移:第一次是上世纪八十年代,由美国本土向日本转移;第二次是从上世纪九十年代开始向韩国和中国台湾转移;第三次是近年来向中国大陆转移。 

这是一家以科技投资为主要方向的PE,并坚持长期陪伴。七年前,建信信托投资了千方科技,并伴随这家公司从市值10亿人民币的规模,成长为市值超过300亿的巨头,当初1亿元的投入,为建信信托带来了丰厚的回报。

台湾“疫情指挥中心”12日撤回陆委会11日提出的陆配子女入境方案,台湾当局领导人蔡英文通过社交媒体表示“非常时期,防堵疫情是我们最优先的考虑”。两岸婚姻协调促进会会长钟锦明则对此表示遗憾,认为一刀切的政策作法没有通盘考虑,非常不能接受当局的作法,也担忧往后陆配、陆配子女会受到台湾社会的歧视、受到不公平与异样眼光,将影响两岸人民交流。

1979年应用材料就在日本设立了子公司Applied Materials Japan。1983年,应用材料在日本的营业收入就几乎达到了其全球总收入的三分之一。应用材料于1985年在韩国设立办事处,1989年在中国台湾设立办事处。中国台湾营收在2004年超过北美,成为应用材料营业额全球最高的地区。 

2017年初,一直在资本领域动作频繁的千方科技,与建信信托共同合作,从贝恩资本手上控股收购了浙江宇视,后者在安防领域仅次于海康威视与大华股份,是高端安防产品细分领域的龙头。第二年,两家公司进行了重大资产重组,浙江宇视装入千方科技,市值飞涨到了300亿元。

这是一家有着银行背景的特殊PE。

笔者认为,紧跟产业转移,是海外半导体设备公司长盛不衰的重要原因。 

而在科创板上市的中微公司,已成功自主研制5nm等离子体刻蚀机,或将用于全球首条5nm芯片制程生产线。中国的刻蚀设备技术已追赶到较为领先的水平。 

实际上,建信信托是由建设银行控股的非银行类金融机构。2008年,建设银行决定进军信托行业,并得到国务院批准,当时的行业现状是,全国仅有68块信托牌照,且不再新增,这些牌照基本分布在各地市。于是,建设银行开始广发“英雄帖”,以期收购一张牌照。

基于建设银行的资源禀赋,建信信托将投资的突破点放到了国企改革业务上。“跟其他信托公司对比,我们一个很大的特色是跟建筑施工类的央企、国企都有合资的投资平台,从项目型的投资延展到产业链上下游。”陈铨介绍,当时,广东省率先提出做全省国企的全面改革,引入外部投资人,做员工持股的激励机制改革试点,建信信托成为独家合作伙伴,并发起成立了国企改革基金。这只基金仍以建信信托自有资金为主。

可以发现,应用材料在全球市场关键的每一步,都踩在了全球半导体产业转移的节点上,拉姆研究也是这样。 

根据SEMI统计,除 2008、2009 年刻蚀设备销售额出现较大幅度下滑之外,2006 年至今,刻蚀设备市场规模一直在 60 亿美元左右波动。2018 年全球刻蚀设备市场规模达到新高,突破100亿美元。  

“募资难在我们看来就是伪命题。”依托建设银行丰富的高净值客户资源,建信信托的募资路一直走得较为轻松。不过,陈铨也强调,建信信托也在拓展多元化的LP圈层,如今建信信托已经与湖北、江苏、广东多地的引导基金合作:“从整体趋势上看,机构投资人的比例是在增加的。”

8年时间里,千方科技从10亿人民币的规模成长为市值超过300亿的巨头,给建信信托带来了十分可观的回报。“投资本金早就全部回来了,现在的目标是如何滚动投资、实现更高回报。”

2013年底,千方科技借壳联信永益登陆A股,市值达到了100亿左右。建信信托没有急于退出,他们发现,尽管千方科技很早就开始涉足智慧交通,也开始面临着企业转型的问题——一个做集成业务的集成商,要变身一个做产品的企业,这是很大的转变。

三次转移中,应用材料和拉姆研究都及时调整了全球战略布局,充分利用了产业转移带来的机遇。 

建信信托的投资节奏很快。科创基金1号于2019年4月底成立,当年年底基本投资完毕。于是他们在2020年4月发起成立了第二只科创基金,规模近9亿人民币,陈铨介绍,2020年底,这只基金也将基本投完。

此外,中国国民党党主席补选与中常委改选将于3月7日投票。因新冠肺炎疫情影响,前党主席洪秀柱表示,应暂缓两项选举,避免给外界“全民拼防疫,国民党拼补选”感觉。(完)

投资并不是一件容易的事情,因为投资人需要站在今天去看未来三年、五年。在建信信托看来,每个人对于估值都有自己的评价体系,关键在于对于行业和企业未来的判断,总之,“大家越来越凭本事赚钱了。”

国外刻蚀机设备厂商主要有美国的拉姆研究(Lam Research)、应用材料(Applied Materials)、科林研发(KLA-Tencor,2015年被拉姆收购),日本的东京电子(TEL)、日立国际(Hitach),英国的牛津仪器,且均已经可以实现7nm制程。 

但这并不是众多网络媒体所称的,“中国芯片生产技术终于突破欧美封锁,第一次占领世界制高点”,“中国弯道超车”等等。 

建信信托目前还设立了一只金融科技基金,对于任何金融领域的科技型应用来说,建设银行可能都是最主要的用户和采购方。“我们在手推进的一个金融科技公司,主要客户和应用场景就是银行。依托建行,我们可以为它带来足够的数据量和订单量,这就是资源。”

由于半导体产品制造工序繁多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。 

其中拉姆研究、东京电子和应用材料三家市场占比超过90%。拉姆研究更是独占全球刻蚀设备半壁江山。  

行业风云变化间,VC/PE圈正在经历新一轮洗牌。

6年前,建行的领导给建信信托私募股权业务的定位是,要做“银行系股权投资机构”的第一名,如今,他们的目标早已超越了银行系和整个中国PE圈层,陈铨告诉投资界:“建信信托作为股权投资国家队,要在双循环发展新格局中发挥更大作用。因此我们必须放眼世界,主动对标国际上的顶级机构,比如黑石、贝恩资本等。这才是我们的奋斗目标。”

现在,全球半导体产业正在经历第三次大规模转移,中国将成为下一个全球半导体产业聚集地。在这样的背景下,中国的半导体产业将迎来无限的机遇。近几年,国内也涌现了一批先进的刻蚀设备制造企业。 

含着金钥匙出生,建信信托对于涉足私募股权投资业务,可以说“预谋已久”。陈铨介绍,自2010年成立以来,建信信托就在通过自有资金与市场化机构合作投资,以LP角色为主。2014年起,建设银行将股权投资作为子公司业务转型的明确方向,子公司建信信托被委以重任。

光刻机相当于画师。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆上,盖上事先做好的掩膜版,然后用紫外线隔着掩膜版对晶圆进行一定时间的照射。利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将掩膜版上的电路图形传递到晶圆的表面或介质层上,形成有效的图形窗口或功能图形。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。 

其实,光刻机与刻蚀机是需要配合使用的“兄弟机器”。 

在“工、农、中、建”四大行中,建设银行是唯一一家被批准可以拥有信托牌照的,因此,建信信托一直强调自己是“股权投资国家队”。

希望国产“刻刀”刻下这浓墨重彩的一笔仅仅是个开始。 

头部聚集的现状正在方方面面上演。从投资的角度来说,他认为,好项目要自主发掘,但真正顶级的项目一定是靠顶级资源来获取的。

真正的市场化募资始于2017年。那一年,建信信托发起成立了第一只市场化的私募股权投资基金——国企改革创新私募投资基金1号,仍旧以国改为主题;2019年,建信信托的第一只科创基金设立,把科技创新作为明确的主题方向之一。

该“疫情指挥中心”表示,目前台湾累计通报1668名个案,含18名确诊、1505名排除,其余隔离检验中,73名初验阴性、其余待检验。

“真正顶级的项目,都需要靠资源来换”,对标黑石,不能局限在国内市场

从1亿美金到300亿市值:持续投资,建信信托陪伴这家公司8年

而刻蚀机是雕刻家。“刻蚀”是光刻后,先用一种腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉,晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。刻蚀工艺的方法有两大类,湿法蚀刻和干法蚀刻。

众多专家学者表示,我国等离子刻蚀机这几年进步确实不小,但刻蚀只是芯片制造多个环节之一,我国在大部分工序上仍然落后,尤其是在核心光刻机领域。

由于光刻机需要把纳米级精细的图案印到晶圆上,而刻蚀机只需根据印上去的图案刻蚀掉有图案,或者没有图案的部分,所以刻蚀机的技术壁垒远低于光刻机。 

半导体产业转移,多元化巨头竞争

半导体设备有进步当然是好事,但不应该夸大其战略意义,刻蚀机也不是国外对华禁售的设备,虽然国内技术十分优秀,但从市场上来看,国内企业与拉姆研究、东京电子和应用材料等企业相比,国外巨头体量优势明显。